ASML peut désactiver les machines EUV à distance il parait https://www.bloomberg.com/news/articles/2024-05-21/asml-tsmc-can-disable-chip-machines-if-china-invades-taiwan
Le bombardement serait une sécurité en plus, mais pas spécialement nécessaire.A voir ou peut aller le reverse engineering sur ces machines, qui sont surement les plus complexes que l'homme ai jamais crées.